设备名称：槽式湿法去胶机
整机尺寸：约 5200mm（L）× 1900mm(W)×2200mm(H)；
操作台面高度：950±50mm；
适用产品：12inch晶圆（兼容8inch晶圆）；
操作系统：PLC 操作系统；
设备具有12英寸（兼容8英寸）晶圆上的光刻胶去除功能；
适用于12英寸和8英寸晶圆上的正性光刻胶、负性光刻胶去除工艺，并对晶圆上的相关金属线条或焊盘等无损伤，作业方式为槽式模式。

1.配备多套去胶槽体，能够满足多种去胶工艺；
2.具备去胶、水洗及干燥功能；
3.具备连续自动作业能力，适合批量化生产；
4.药水槽具备药水循环过滤功能；
5.去胶工艺后对晶圆的基材、金属导线、焊盘等所有内部结构无损伤
6.破片率 连续生产1万片，无机台原因造成的破片及划伤