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晶圆水平电镀实验机
水平电镀技术,它是垂直电镀法技术发展的继续,技术的关键就是制造出相适应的、相互配套的水平电镀系统,能使高分散能力的镀液,在改进供电方式和其它辅助装置的配合下,显示出比垂直电镀法更为优异的功能作用。
(1)适应尺寸范围较宽,无需进行手工装挂,实现全部自动化作业
(2)在工艺审查中,无需留有装夹位置,增加实用面积,大大节约...
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